實(shí)驗(yàn)供氣系統(tǒng)使用安全注意事項(xiàng)

1.易1燃易1爆氣體：此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆1炸混合氣和達(dá)到著火溫度。便會(huì)發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室

內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場所均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報(bào)警裝置。具體要求如下：

①可燃?xì)怏w比空氣輕者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場所的頂部。

②可燃?xì)怏w比空氣重者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場所的1低處。

③可燃?xì)怏w的報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖，當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時(shí)，事故排風(fēng)裝置自動(dòng)開啟，同時(shí)向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時(shí)突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆1炸事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。

⑤可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。

⑥各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測口，以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動(dòng)火前后對(duì)其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。

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試驗(yàn)室供氣需求

目前大多數(shù)試驗(yàn)室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質(zhì)譜儀、液相色譜質(zhì)譜儀、原子吸收分光光度計(jì)、原子熒光光度計(jì)、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質(zhì)譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃?xì)猓虼嗽囼?yàn)室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗(yàn)室中放置的分析儀器。實(shí)驗(yàn)室的氣體的排放是非常重要的，如果說實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)不合理，工作人員就容易出事，甚至嚴(yán)重的就會(huì)有生命危險(xiǎn)。

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高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高，對(duì)氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求極為嚴(yán)格，需要達(dá)到ppb、ppt級(jí)，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對(duì)高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率。